




---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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---质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业,甚至乡镇企业、个体企业,可以说应用领域极其宽广。
航空航天---工业
1)例如火箭发动机及姿态发动机,过去是---刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用---质谱检漏仪检漏,采用正压吸与---罩法结合,使检漏灵敏度---提高,从而---了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸、---罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。
2)km6空间环模装置设备庞大,主真空室直径12m、高22m,另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3,分系统多,结构复杂,各种接口焊缝相加有几千米长,采用---质谱检漏仪负压检漏,电力环网柜真空箱检漏设备,每条焊缝由检漏盒密封,配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后,充入一定压力---气,关闭预抽阀,开启检漏阀。由于盒内---浓度较高,相对检漏仪又有一定压力,因此有效提高了检漏灵敏度。
3)航天工业中,卫1星、各类阀门、电子元器件,传感器等等都在广泛应用---质谱检漏仪及其检漏技术。
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(1)电子行业
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、---起博器。
(2)真空行业,仪器、仪表行业
管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加1速器、加1速器、辐照加1速器、镀膜机、薄膜真空计。
(3)核工业
---分离装置、存储装置、核发电装置。
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