检漏设备-科仪---真空有限公司-电力真空箱检漏设备

---质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射---气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，充气柜真空箱检漏设备，该时间再加上---气在真空系统中的传递时间，即为两次喷---的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，电力真空箱检漏设备，两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷---。

清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者---，在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时，检漏设备，清除时间在3分钟左右。

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---质谱检漏原理

---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到，单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

---质谱检漏仪的示踪气体选用---气，是因为---气具有以下优良特性：

---气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果---气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的---气；

---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

---离子荷质比小，易于进行质谱分析；

---气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

---气---，不凝结，极难容于水。

今天科仪小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！