北京科仪真空技术有限公司（简称：科仪）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；真空环境模拟设备等---产品。
如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。hlt260型---质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：
在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，
待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。只需测量待测器件外部---通过器壁的漏孔进入器件内部的---的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值，电力柱真空箱---检漏设备，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，---检漏设备，
并预先根据环境中---的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置，可以通过对可yi位置喷---并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的---的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定---气，
封闭测试端口，电力柱上开关真空箱---检漏设备，将嗅---头连接至检漏仪，用嗅---头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的---来进行测量的，---中的---会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6pa·l/s，而抽真空方式的小于5×10－10pa·l/s）。
1、---气的轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，电力计量柜真空箱---检漏设备，检漏灵敏度高。
2、---离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中---离子通过的各个缝隙，从而提高---离子的传输率。
3、---在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中---气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
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