---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，六---硫充气柜真空箱检漏设备，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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北京科仪真空技术有限公司（简称：科仪）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。是国内新兴的一家从事真空领域的---企业。
1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.不会受到主观因素判断的影响；
4.检测的数据；
5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。
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今天和大家分享的是---质谱检漏仪的相关知识，希望对您有所帮助！
---质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是:检漏灵敏度高，可以检漏到10-11pam3/s 数量级，仪器响应快，---分子在仪器高真空的环境中扩散的速度---;所以---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在导1弹武1器装备中也离不开检漏，导1弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到---质谱检漏，本文主要真对---质谱检漏原理及方法进行综述。
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