---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理，实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，充气柜真空箱检漏系统，泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后，由于---质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法---质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的准确定位; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的---气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，---气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中---分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的---气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。
科仪是生产---质谱检漏仪的厂家，用于电厂检漏。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。今天科仪的小编就和大家来分享一下---质谱检漏仪的主要及时指标。
1. 较小可检漏率：5×10-12pa·m3/s
2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12pa·m3/s
3. 启动时间：≤5min
4. 响应时间：≤1s
5. 检漏口的较高压力：1500pa
6. 电源要求：220v，50hz，单相，10a
7. 工作环境：5-35℃
8. 相对湿度：≤80%
9. 外形尺寸：550（w）×400（d）×780（h）
10. 重量：64kg
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