检漏设备-真空箱检漏设备-北京科仪---公司

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    2023-10-14

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---质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展,---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现,电力真空箱检漏设备,---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展,这些特点---地满足了当前检漏应用的需求,也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,sf6充气柜真空箱检漏设备,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,电力中高压电力环网柜真空箱检漏设备,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

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---质谱试漏仪工作原理

---质谱检漏仪是根据质谱学原理,用---气作探索气体制成的气密性检测仪器.其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡,与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的---气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,轨道半径

r ——离于偏转轨道半径(cm) b ——磁场强度(t)

m/z ——离子的质(量)/(电)荷比(正整数)

u ——离子加速电压(v)

由上式可知,当 r、b 为定值时,改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。




什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪品牌浅析什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪---的广泛的市场应用,此款---质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款---质谱检漏仪坚固---,抗震性能极强,检漏设备,可反复使用数年仍---的检漏漏率。---质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。---质谱检漏仪主要特点:前级泵配备抽速---15 m3/h 旋片泵,对---气抽速可达 2.5l/s,---质谱检漏仪 asm 340 对---气的蕞小检测漏率:

真空模式:5 · 10-13 pa m3/s

吸的模式:5 · 10-10 pa m3/s

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