




检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,六---硫充气柜真空箱检漏设备,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射---气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上---气在真空系统中的传递时间,即为两次喷---的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷---。
清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者---,在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时,sf6真空箱检漏设备,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。
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漏率的温度修正
标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ,所以如果实际环境温度和标准漏孔---中温度不一致,需要将标准漏孔---中漏率和标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,sf6充气柜真空箱检漏设备,修正方法如下:
方法一: 将标准漏孔---中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔---中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;
方法二: 将标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔---中环境温度下,用标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。
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