




---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,---质谱检漏仪可达1000pa(一般常规检漏仪为0.05pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝---等优点。
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---质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,电力中高压真空箱检漏设备,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。---质谱检漏仪是根据质谱学原理,用---气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的---气相互碰撞使其电离成正离子,这些---离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷---法、吸---法是---质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
今天和大家分享的是---质谱检漏仪的操作方法,希望对大家有所帮助!
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成,离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子,分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让---离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上,收集放大器收集---离子流并出入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。
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