




主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成,离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子,分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让---离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上,收集放大器收集---离子流并出入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。
(1) 漏率校准 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。
示值误差
通电预热,待---质谱检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统,运行---质谱检漏仪,充气柜真空箱检漏系统,待漏率示值稳定后,六---硫充气柜真空箱检漏系统,可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值,同一标准漏孔测量三次,计算---质谱检漏仪示值平均值,从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试,得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差,可以考虑---质谱检漏仪的自校功能,待完成后,再用标准漏孔进行测试。
重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的,本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中,每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次,检漏系统,可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
今天和大家分享的是---质谱检漏仪的校准方法,如您想了解更多的产品信息,您可拨打图片上的电话进行咨询!
今天科仪的小编和大家分享的是---质谱检漏仪的工作原理,希望对您有所帮助!
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体---气有响应信号,而对其他气体没有响应,从而检漏。
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