六---硫充气柜真空箱检漏设备

真空压力法---质谱检漏

---质谱检漏仪的校准方法

(1) 漏率校准 校准系统的组成

校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。

示值误差

通电预热，待---质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统，六---硫充气柜真空箱检漏设备，运行---质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算---质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试，得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。

如果测试结果有较大编差，可以考虑---质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。

重复性

测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。

今天和大家分享的是---质谱检漏仪的校准方法，如您想了解更多的产品信息，您可拨打图片上的电话进行咨询！

---质谱检漏仪的原理

---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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