




主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成,离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子,分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让---离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上,收集放大器收集---离子流并出入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。
---质谱检漏的检测精度高,可达到1×10-7pa·m3/s。电池---检前先将电池里的空气抽掉,然后注入---气,用---质谱检漏仪探测有没有---气漏出,从而判断电池的气密性是否完好。电池---检一般为两种方式:一种是在电池生产的中间环节,即在电池烘干注液之前进行检漏,电芯在真空箱内充---气及检测,此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标;另一种是在成品环节检漏,电芯在箱外充---,电芯注入电解液的同时将---气充入电芯内部,然后将电池放入真空箱内进行检漏。
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真空压力法---质谱检漏
采用真空压力法检漏时,需要将被检产品整体放入真空密封室内,真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连,被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后,再与---气源相连,当被检产品表面有漏孔时,---气就会通过漏孔进入真空密封室,再进入---质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率的测量。
真空压力法的优点是检测灵敏度高,sf6真空箱测漏设备,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂,需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求---充气管道接口无泄漏,或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是---高的密封产品,如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
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