sf6充气柜真空箱检漏系统

---质谱检漏仪的结构和工作原理

　　---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。

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什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪品牌浅析什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪---的广泛的市场应用，此款---质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款---质谱检漏仪坚固---，抗震性能极强，可反复使用数年仍---的检漏漏率。---质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。---质谱检漏仪主要特点：前级泵配备抽速---15 m3/h 旋片泵，对---气抽速可达 2.5l/s，---质谱检漏仪 asm 340 对---气的蕞小检测漏率：

真空模式：5 · 10-13 pa m3/s

吸的模式：5 · 10-10 pa m3/s

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