可实时监测氢气、co2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，可实时调看供氢纯度或供co2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空
工作原理：
仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。
设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，
其测量工作原理如下。---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用---气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，空调制冷真空箱---检漏设备，在设计时只让---离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集---离子流并送入到电流放大器，---检漏设备，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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1、---气的轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。
2、---离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，电力铸铝件真空箱---检漏设备，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中---离子通过的各个缝隙，从而提高---离子的传输率。
3、---在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中---气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
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