电力真空箱测漏系统-科仪---真空

---质谱试漏仪工作原理

---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作探索气体制成的气密性检测仪器．其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径

r ——离于偏转轨道半径（cm） b ——磁场强度（t）

m/z ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）

u ——离子加速电压（v）

由上式可知，当 r、b 为定值时，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

---质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射---气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上---气在真空系统中的传递时间，即为两次喷---的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷---。

清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者---，在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。

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