---气检漏仪是---质谱检漏仪((helium mass spectrometer leak detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其中心部件质谱室，使不同的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收1器接收所有这些离子，充气柜测漏系统，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。
用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。
专门设计的以---气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为---质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、---、安全、反应速度快等优点。---质谱检漏仪中用得较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。
众所周知，当一个带电质点（正离子）以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，如图1所示。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比（m/e）的离子在磁场中都有相应的运输半径，电力中高压真空箱测漏系统，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的---离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有---离子才能通过狭缝而被接收极接收形成---离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用---气喷吹漏孔，---气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射---气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上---气在真空系统中的传递时间，即为两次喷---的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右，测漏系统，即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷---。
清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者---，在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。
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（1）新的仪器对空气和残余气体的读数是零，仅对示踪气体有响应。（2）新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。（3）仪表的指示能够反映出漏孔的大小， 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中， 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时，明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析， 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化， 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。当时还论证了新型检漏装置的示踪气体必须满足三个要求（1）系统的残余气体的质潜中没有它的谱线。即便仪器处于---环境，这种气体在仪器中也几乎不存在。（2）能够在试验状态下很容易地把它从系统中抽出， 所用的示踪气体不会污染系统。（3）分子量低、粘度低、购置方便。显然，---气是满足这三个要求的理想的气体。
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