测漏设备-科仪---技术有限公司-充气柜测漏设备

---质谱检漏仪的原理

---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，测漏设备，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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---质谱检漏用---气的选择

---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，电力环网柜真空箱测漏设备，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，充气柜真空箱测漏设备，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。

规定的瓶装---气按纯度高低分别为工业用---、纯---、高纯---三种。

1、工业用---：---含量***99%，露1点≤43℃.

2、纯---分三级：优等品---含量***99.995%；一等品---含量***99.993%；合格品---含量***99.99%。

3、高纯---分为三级：优等品---含量***99.9996%；一等品---含量***99.9993%；合格品---含量***99.999%。

---气在---质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用---，即---含量***99%，露1点≤43℃。

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