




经过近半个世纪的努力,今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准---峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸检漏提供了---的条件。
一、负压法
负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行---气检漏时,---被连接到充满---气的瓶子中,并且使用喷将---喷射到泄漏部分。如果---气从泄漏孔流入压力容器装置,装置中---气的分压将上升,泄漏率将显示在---气检漏设备上。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率,将被视为不合格。
二、正压法
正压方法是首先用一种以上的---压---气或---气的混合气体填充压力容器装置。在压力容器装置的外部检测中,泄漏孔泄漏到外部---气中,然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索---气时,一旦---气被吸入,---气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下,由于压力容器装置的外部是一个---压,充入压力容器装置的气压需要至少一个---压或更多个---压。然而,sf6真空箱测漏系统,压力不应太高。如果压力过高,插入设备的压力表或其他插件会弹出,造成伤害和其他危险事故。
三、---罩法
在这种方法中,用塑料薄膜包裹被测容器,首先除去罩子中的空气,然后充入---气或---气混合气体,检漏仪与被测容器的内部连接,当检漏仪显示泄漏率时,指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值,则每个泄漏率不超过标准值;如果总泄漏率超过标准值,检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔,直至达到合格标准。
---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25k,临界压力为2.26×105pa,1atm压力下的沸点为4.214k,熔点为0.9k,三相点温度为2.186k,三相点压力为51.1×10-2pa,在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k),在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k),在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s,1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。
规定的瓶装---气按纯度高低分别为工业用---、纯---、高纯---三种。
1、工业用---:---含量***99%,露1点≤43℃.
2、纯---分三级:优等品---含量***99.995%;一等品---含量***99.993%;合格品---含量***99.99%。
3、高纯---分为三级:优等品---含量***99.9996%;一等品---含量***99.9993%;合格品---含量***99.999%。
---气在---质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用,纯度要求不高,一般选用工业用---,即---含量***99%,露1点≤43℃。
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