---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，六---硫充气柜真空箱检漏设备，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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(1) 漏率校准 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。
示值误差
通电预热，充气柜真空箱检漏设备，待---质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统，运行---质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算---质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试，得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差，可以考虑---质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。
重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
今天和大家分享的是---质谱检漏仪的校准方法，如您想了解更多的产品信息，您可拨打图片上的电话进行咨询！
---质谱检漏仪品牌浅析什么是---质谱检漏仪
---质谱检漏仪---的广泛的市场应用，此款---质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款---质谱检漏仪坚固---，抗震性能极强，可反复使用数年仍---的检漏漏率。---质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。---质谱检漏仪主要特点：前级泵配备抽速---15 m3/h 旋片泵，检漏设备，对---气抽速可达 2.5l/s，---质谱检漏仪 asm 340 对---气的蕞小检测漏率：
真空模式：5 · 10-13 pa m3/s
吸的模式：5 · 10-10 pa m3/s
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