




---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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水检和---检两种检漏方法的分析
目前,水检和---检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法,下面将分析两种检漏方法的优缺点。
1.1 传统水泡法检测分析
水泡检漏法,属于检测精度要求不高的粗检漏,就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气,然后放入水中,观察是否有气泡从被检工件中跑出来,如果有,电力真空箱测漏设备,则说明漏,而且---什么位置泄漏,一般只确定被检件是漏还是不漏,而不需定量。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下,气泡检漏也可以定量。检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。
因此,对于空调两器检漏来说,采用水检方法,灵敏度较低。受人为因素影响,漏判误判率会明显增加。另外,工件水检后,外表面有水,需烘干处理,耗电多,耗费劳动力也多。但水检法也有优点,测漏设备,就是操作简单直观,而且能够查找漏点位置。
1.2 ---质谱检漏方法分析
---质谱检漏是以---作探索气体,对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。
---质谱检漏法有优点在于:---是惰性气体,对---无污染,使用安全;---原子小,黏度小,易渗透过可能存在的漏隙。---气在---中含量小(5ppm),不易受干扰。---质谱检漏仪检测灵敏度高,速度快,适用范围广。
目前国内生产---质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 pa·m3/s。目前,---比较流行的针对空调两器检漏方法,多采用真空箱法。
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经过近半个世纪的努力,今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准---峰,电力中高压电力环网柜真空箱测漏设备,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸检漏提供了---的条件。
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