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真空设备检漏

设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，

其测量工作原理如下。---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用---气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，电力计量柜真空箱---测漏系统，形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让---离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集---离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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氢气检漏法

钠焰法

钠焰法的测试尘源为多分散相---盐雾，“量”为含盐雾燃烧时氢气火焰的亮度。

盐水在压缩空气的搅动下飞溅，经干燥形成微小盐晶体颗粒并进入风道，在过滤器前后分别采样。

含盐雾气样使氢气火焰的颜色变蓝、亮度增加，以火焰的亮度来判断空气的盐雾浓度，并以此确定过滤器对盐雾的过滤效率。

主要检测仪器为火焰光度计，空调制冷真空箱---测漏系统，该方法只能海绵检测灵敏度不高，不能对超过滤器检测。

---质谱检漏仪：

1、---气的轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。

2、---离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，---测漏系统，利于离子分离，电力计量柜---测漏系统，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中---离子通过的各个缝隙，从而提高---离子的传输率。

3、---在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中---气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。

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