




检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射---气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上---气在真空系统中的传递时间,即为两次喷---的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。笔者根据实测经验,两次喷---的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷---后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷---。
清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对---的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者---,在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时,清除时间约须1分钟;在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时,清除时间约须2分钟;在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时,清除时间在3分钟左右。
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---质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器,那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢?今天科仪的小编就和大家来一起总结一下!
一、为什么用---气作为示踪气体?其他气体可以吗?(1)在空气中含量低(只有5 ppm),环境本底低
(2)惰性气体不易1燃,不易1爆对环境没有污染,不与其他物质反应,可以混合到任意浓度
(3)---,可以用在食品工业
(4)在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
(5)比空气轻,运动速度快
(6)气体分子很小,可以穿过微小的泄漏孔
(7)其它气体也可以
二、喷---检漏的注意事项。
(1)被测系统应尽量清洁,干燥,无油
(2)如果测量条件发生变化(温度),需要重新对检漏仪做内部较准
(3)---气比空气轻,喷---法检漏应注意方向
(4)尽量不要使用密封脂(油脂会大量吸附---气)
(5)不要向环境释放大量---气
(6)真实的漏率信号应当是快速上升的信号,相对缓慢下降的信号
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注:采用国际单位制时,漏率单位为:pa?m3/s。
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---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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