---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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真空压力法---质谱检漏
采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与---气源相连，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。
真空压力法的优点是检测灵敏度高，六---硫充气柜真空箱检漏系统，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求---充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是---高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
六---硫充气柜真空箱检漏系统由北京科仪---真空技术有限公司提供。北京科仪---真空技术有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支高素质的员工队伍，力求提供---的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。科仪---真空——您可---的朋友，公司地址：北京市昌平区南口镇科仪---真空技术，联系人：通总。
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