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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，汽车空调---测漏设备，我们需要密封住一定的空间，冷柜内胆真空箱---测漏设备，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，pvd，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），汽车空调管路真空箱---测漏设备，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果---，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要---行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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并预先根据环境中---的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置，可以通过对可yi位置喷---并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的---的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定---气，

封闭测试端口，将嗅---头连接至检漏仪，用嗅---头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的---来进行测量的，---中的---会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6pa·l/s，而抽真空方式的小于5×10－10pa·l/s）。