sf6真空箱测漏系统

---气检漏的基本功能（部分功能可选配）

1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验；

2、对被检工件抽真空；

3、对被检工件充注---气；

4、真空箱法---质谱检测，自动判断工件漏率合格与不合格；

5、回收并循环使用---气；

6、如果---气浪费---，可以将使用过程中浓度不合格的---气进行提纯

7、plc控制，触摸屏操作，自动检测。

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---质谱检漏仪故障与处理

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到---震动，sf6真空箱测漏系统，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将---源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制---源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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