




---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪品牌浅析什么是---质谱检漏仪
---质谱检漏仪---的广泛的市场应用,此款---质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款---质谱检漏仪坚固---,抗震性能极强,可反复使用数年仍---的检漏漏率。---质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。---质谱检漏仪主要特点:前级泵配备抽速---15 m3/h 旋片泵,对---气抽速可达 2.5l/s,---质谱检漏仪 asm 340 对---气的蕞小检测漏率:
真空模式:5 · 10-13 pa m3/s
吸的模式:5 · 10-10 pa m3/s
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真空箱法---质谱检漏的充气回收检漏系统
1.配置与气路控制
真空箱:一般为双工位,两个不锈钢真空箱,开门装置可采用液压方式,或加配重的手动方式。
工件抽空系统:低真空泵及阀门,低真空测量充氮与回收系统:---气储存罐(高压罐),---气回收取罐(低压罐),主压缩机,测漏系统,辅压缩机,过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统:为自动控制型,由面板、plc系统(可编程逻辑控制器),充---回收系统,真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计,同时,实施对整个系统的工作控制,对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4,泵系统对工件和真空箱抽真空,如果限定的时间内抽到限定的真空度,此时,电气控制系统关闭v1,打开v2
2)、充---系统通过v2对工件进行充---至核定的压力,稳定,关闭v2
3)、关闭v4,充气柜测漏系统,打开v3、v5,处在正常工作状态待命的---质谱检漏仪进行检漏,充气柜真空箱测漏系统,如果不漏,电气控制系统指挥关断v3、v5,打开v2对---气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气,开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件,检漏仪声光报警,六---硫空箱测漏系统,将:工作内的---气回收,对真空箱和管道巾的---气通过清洁泵抽除,免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的---分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。
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