




(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到---震动,此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将---源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制---源的流量,尽量采用喷咀流量小的喷,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---;价格低。
质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体,主要原因如下:
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4),易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
3、---是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。
4、在---两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与---相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,真空箱测漏系统,定标找---峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的---离子通过,提高了仪器灵敏度。
5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能(如小、易通过漏孔)比---还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底---且波动大,以致灵敏度---降低,所以很少采用。
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热管
热管 (heat pipe) 是利用热传导原理与致冷介质的快速热传递性质,透过热管将---物体的热量迅速传递到热源外,其导热能力超过任何已知金属的导热能力。热管技术目前广泛应用于计算机、各类电器等设备散热,常见的形状有圆管状,板块状 (vc 单体) 等。
热管需要检漏原因:
热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能,如果热管本身存在漏点,首先会影响热管的导热性能;其次由于热管都是安装在设备内部,如果发生泄漏,里面封装的液体就会流出,---污染和影响设备的正常运转,所以热管生产企业,都会采用 ---质谱检漏仪对热管进行检漏。
热管检漏客户案例:某电子股份公司,是 it 产业 500 强之一,分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地,员工近 90000人。该企业是较大的电源供应器制造商,市场占有率达 25% 以上。
热管检漏方法:
该企业热管出厂前标准漏率合格线是 e-8 mbarl/s,使用---质谱检漏仪检漏时,设定 e-8 为报警值,当漏率低于该值时产品是合格的,当漏率高于此值,检漏仪发出声光警报,说明产品有漏。
热管采用检漏仪的真空检漏模式,因为产品没有抽真空的标准接口,上海伯东根据客户实际情况定制真空夹具,一头连接检漏仪,一头连接产品,具体做法如下:
1.启动---质谱检漏仪,装上夹具
2.将热管插入夹具,并用真空封泥封堵
3.按下检漏仪启动键,开始抽真空
4.在产品周围喷---气,以 e-8 mbarl/s 为合格线
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真空箱测漏系统由北京科仪---真空技术有限公司提供。北京科仪---真空技术有限公司实力---,信誉---,在北京 昌平区 的行业设备等行业积累了大批忠诚的客户。科仪---真空带着精益---的工作态度和不断的完善---理念和您携手步入,共创美好未来!
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