真空箱检漏系统

---质谱检漏仪故障与处理

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到---震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将---源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制---源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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---质谱检漏原理

---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到，单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

---质谱检漏仪的示踪气体选用---气，是因为---气具有以下优良特性：

---气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果---气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的---气；

---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

---离子荷质比小，易于进行质谱分析；

---气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

---气---，不凝结，极难容于水。

今天科仪小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！