




---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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---气检漏仪是---质谱检漏仪((helium mass spectrometer leak detector)的俗称,运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其中心部件质谱室,使不同的气体变成离子并在某种场中运动后,不同质荷比的离子在场中彼此分开,而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起,如果在适当位置安置接收1器接收所有这些离子,就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图,这就是质谱。
用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计,如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。
专门设计的以---气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为---质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外,还具有适应范围广、定位定量准确、---、安全、反应速度快等优点。---质谱检漏仪中用得较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。
众所周知,当一个带电质点(正离子)以速度v进入均匀磁场的分析器中,如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直,则它的运动轨迹为圆,如图1所示。当磁场的磁通密度一定时,不同质荷比(m/e)的离子在磁场中都有相应的运输半径,也就是都有相应的圆轨迹,这样,不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉,而在对应的---离子运动半径位置的档板上开一狭缝,狭缝后安置离子接收极,这样的只有---离子才能通过狭缝而被接收极接收形成---离子流,并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时,如果用---气喷吹漏孔,---气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中,使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来,达到了检漏的目的。
利用---气是比氢气小的第二轻的惰性气体,---气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入---气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有---气在管道外部。这就是管道中---气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件,真空箱测漏设备,---气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满---气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有---气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留---气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的---气。看到这里大家得注意,---气的价格不菲,进行一次---气检漏的费用自然不低。
---气怎么检漏,---气检漏就是利用了---气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的---气。检测时首先探测到---气的点,得到---气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。---检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。
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