




随着科技的迅猛发展,---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现,---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展,这些特点---地满足了当前检漏应用的需求,也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以一定能量注入质分析器,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。


水检和---检两种检漏方法的分析
目前,水检和---检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法,下面将分析两种检漏方法的优缺点。
1.1 传统水泡法检测分析
水泡检漏法,属于检测精度要求不高的粗检漏,就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气,然后放入水中,观察是否有气泡从被检工件中跑出来,如果有,则说明漏,而且---什么位置泄漏,一般只确定被检件是漏还是不漏,而不需定量。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下,气泡检漏也可以定量。检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。
因此,对于空调两器检漏来说,采用水检方法,灵敏度较低。受人为因素影响,漏判误判率会明显增加。另外,工件水检后,外表面有水,需烘干处理,耗电多,耗费劳动力也多。但水检法也有优点,就是操作简单直观,而且能够查找漏点位置。
1.2 ---质谱检漏方法分析
---质谱检漏是以---作探索气体,对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。
---质谱检漏法有优点在于:---是惰性气体,对---无污染,使用安全;---原子小,黏度小,易渗透过可能存在的漏隙。---气在---中含量小(5ppm),不易受干扰。---质谱检漏仪检测灵敏度高,速度快,真空箱测漏系统,适用范围广。
目前国内生产---质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 pa·m3/s。目前,---比较流行的针对空调两器检漏方法,多采用真空箱法。
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(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到---震动,此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将---源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制---源的流量,尽量采用喷咀流量小的喷,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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