六---硫充气柜真空箱检漏系统-检漏系统-北京科仪---

---质谱检漏原理

---质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体---气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，---气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室---气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，检漏系统，在挡板的作用下，---检漏仪的收集板只允许带正电的---离子被接收到，单位时间到达收集板的---离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板---离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

---质谱检漏仪的示踪气体选用---气，是因为---气具有以下优良特性：

---气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果---气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的---气；

---分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

---离子荷质比小，易于进行质谱分析；

---气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

---气---，充气柜真空箱检漏系统，不凝结，极难容于水。

今天科仪小编和大家分享的是---质谱检漏的工作原理，sf6充气柜真空箱检漏系统，希望对您有所帮助！

---质谱检漏仪的检漏方式

---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，六---硫充气柜真空箱检漏系统，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。