---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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北京科仪真空技术有限公司（简称：科仪）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。是国内新兴的一家从事真空领域的---企业。
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