测漏系统-充气柜真空箱测漏系统-科仪---技术有限公司

---质谱检漏仪的校准方法

(1) 漏率校准 校准系统的组成

校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。

示值误差

通电预热，待---质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准，电力真空箱测漏系统，将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统，六---硫空箱测漏系统，运行---质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算---质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试，得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。

如果测试结果有较大编差，可以考虑---质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。

重复性

测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。

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什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪品牌浅析什么是---质谱检漏仪

---质谱检漏仪---的广泛的市场应用，充气柜测漏系统，此款---质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款---质谱检漏仪坚固---，抗震性能极强，可反复使用数年仍---的检漏漏率。---质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。---质谱检漏仪主要特点：前级泵配备抽速---15 m3/h 旋片泵，对---气抽速可达 2.5l/s，---质谱检漏仪 asm 340 对---气的蕞小检测漏率：

真空模式：5 · 10-13 pa m3/s

吸的模式：5 · 10-10 pa m3/s

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