电力中高压真空箱测漏设备

背压法---质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的---气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，---气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中---分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的---气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。

---质谱检漏仪的校准方法

(1) 漏率校准 校准系统的组成

校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。

示值误差

通电预热，待---质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统，运行---质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算---质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试，得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。

如果测试结果有较大编差，可以考虑---质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。

重复性

测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。

今天和大家分享的是---质谱检漏仪的校准方法，如您想了解更多的产品信息，您可拨打图片上的电话进行咨询！