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---质谱检漏仪测量数据处理

漏率的温度修正

标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ,所以如果实际环境温度和标准漏孔---中温度不一致,需要将标准漏孔---中漏率和标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,修正方法如下:

方法一: 将标准漏孔---中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔---中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;

方法二: 将标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔---中环境温度下,用标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。

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---质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择

---质谱检漏仪厂家的---质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑:

(1)无害,不能对人体或环境造成伤害;

(2)轻,---检漏多少钱,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;

(3)化学性质稳定,不会引起化学反应和易1燃易1爆;

(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。

氢和---都是比较理想的示踪气体,空气中的含量少,轻,运动速度快,分子直径小,同等条件下,直线运动距离长。在实际使用中,也相对比较容易获取,可以大量使用。由于he具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性,因此一般检漏都采用---气(he)作为示漏气体,但也有用氢气(h)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是---气。

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---质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展,---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现,---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展,这些特点---地满足了当前检漏应用的需求,也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪,---检漏,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,---气是逆扩散到质谱管,---检漏,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

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