随着科技的迅猛发展，真空箱式---检漏系统，---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪，河北---检漏系统，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现，---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展，这些特点---地满足了当前检漏应用的需求，电力开关真空箱---检漏系统，也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
---质谱检漏仪原理的---质谱检漏仪特点：
1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.不会受到主观因素判断的影响；
4.检测的数据---；
5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。
---质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。
---质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。---质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，空调两器真空---检漏系统，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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