---检漏仪-科仪---真空----检漏仪公司

---质谱检漏仪故障与处理

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到---震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，---检漏仪厂家，避免风扇将---源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制---源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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---质谱检漏仪的校准方法

(1) 漏率校准 校准系统的组成

校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。

示值误差

通电预热，待---质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统，运行---质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算---质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试，得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。

如果测试结果有较大编差，可以考虑---质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。

重复性

测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。

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