




检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧,用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质,从而达到检测的目的。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中,判断漏与不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。
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---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪,通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪,是只检测---的---质谱仪,这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,便携式氢气检漏仪,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的---检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,手持式氢气检漏仪,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用---气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间,氢气检漏仪,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让---离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集---离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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