




(1) 漏率校准 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的---质谱检漏仪组成。
示值误差
通电预热,待---质谱检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对---质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入---质谱检漏仪系统,真空箱---检漏仪,运行---质谱检漏仪,待漏率示值稳定后,可以读出标准漏孔漏率的---质谱检漏仪示值,电力开关真空箱---检漏仪,同一标准漏孔测量三次,计算---质谱检漏仪示值平均值,从而得到标准漏孔漏率与---质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入---质谱检漏仪系统进行测试,得到---质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差,可以考虑---质谱检漏仪的自校功能,待完成后,再用标准漏孔进行测试。
重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的,本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中,每一标准漏孔用---质谱检漏仪重复测量三次,可用公式(2)计算---质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
今天和大家分享的是---质谱检漏仪的校准方法,如您想了解更多的产品信息,您可拨打图片上的电话进行咨询!
北京科仪---真空技术有限公司生产---质谱检漏仪,今天科仪---的小编就大家来分享一下---质谱检漏仪的标准器的选择,希望对大家有所帮助!
标准器 采 用 渗 --- 型 标 准 漏 孔,漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) pa·m3 /s,不确定度不大于 10% 。
精密玻璃温度计,测量范围(0 ~ 50) ℃ ,不确定度 u = 0. 04℃ ,k = 2。
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