经过近半个世纪的努力，今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，汽车零部件---质谱检漏仪，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，真空箱---质谱检漏仪，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如：瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的，---质谱检漏仪，且提高检漏灵敏度。
另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸枪检漏提供了---的条件。
---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，---质谱检漏仪可达1000pa（一般常规检漏仪为0.05pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝---等优点。
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(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到---震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，空调两器真空---质谱检漏仪，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将---源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制---源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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