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---质谱检漏仪的校准方法

---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

---质谱检漏仪原理:

---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。

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真空箱---检漏及回收系统在汽车空调的应用一

水检和---检两种检漏方法的分析

目前，水检和---检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法，汽车零部件---检漏仪器，下面将分析两种检漏方法的优缺点。

1.1 传统水泡法检测分析

水泡检漏法，属于检测精度要求不高的粗检漏，就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气，然后放入水中，观察是否有气泡从被检工件中跑出来，如果有，则说明漏，而且---什么位置泄漏，一般只确定被检件是漏还是不漏，而不需定量。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下，气泡检漏也可以定量。检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。

因此，对于空调两器检漏来说，采用水检方法，灵敏度较低。受人为因素影响，漏判误判率会明显增加。另外，空调两器真空---检漏仪器，工件水检后，外表面有水，需烘干处理，耗电多，耗费劳动力也多。但水检法也有优点，就是操作简单直观，而且能够查找漏点位置。

1.2 ---质谱检漏方法分析

---质谱检漏是以---作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。

---质谱检漏法有优点在于：---是惰性气体，对---无污染，使用安全；---原子小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。---气在---中含量小（5ppm），不易受干扰。---质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广。

目前国内生产---质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 pa·m3/s。目前，---比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。

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