




(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的---氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与---检相同水平。
(2)示踪气体充注控制器:对于批量生产的用户,采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作,可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
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设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的---检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用---气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让---离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集---离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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如何判断真空系统是否存在漏气,通常采用静态升压法,即把容器抽到一定压强后,关闭阀门将被抽容器与泵隔开,若容器漏气或材料放气,容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强,氢气检漏设备,可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同,其曲线也不同
1.直线a
压强不随时间变化,说明系统即不漏气,也不放气。真空度上不去的原因是泵工作---。
2.直线b
压强期初上升很快,而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡,这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低,故曲线渐趋向于平衡。
3.直线c
是一斜率为δp/δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。
4.曲线d
开始压强上升较快,而后渐渐减慢,后变成斜率为δp/δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线d可以认为是b和c的叠加。如果出现曲线c和d的情况,则判定系统有漏气。

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