




经过近半个世纪的努力,今天的---质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可---数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准---峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,冷凝器---质谱检漏仪,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转---达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了---的条件。
---质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度p1 优于200 pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,---气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当p1降至20 pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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---质谱检漏仪(helium mass spectrometerleakdetector)为气体工业名词术语,用---气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,---系惰性气体,不腐蚀设备,故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对---气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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